实现高纯先驱体资料的批量出产
液体输送系统（LDS）简介
液体供给系统 (Liquid Delivery System; LDS) ，是一种将半导体造作过程中所需的先驱体资料输送至工艺设备的输送设备 ，通过选取相宜的载气（carrier gas）在肯定压力下实现液体先驱体资料的不变输送。
可能合用于先驱体资料蕴含：
● BPSG processes: TEOS, TEPO, TEB…
● Low-k dielectrics: 4MS, TMCTS, OMCTS, DEMS, ATRP…
● High-k dielectrics: CpZr, CpHf, TMA…
● Low-T SiN/SiO: HCDS, BTBAS, BDEAS, DIS, DIPAS…
● Barrier & Metal: TiCl4, TDMAT…
液体输送系统（LDS）
LDS系统特点
● 基于PLC节造的全自动系统
● 选取触摸显示器 ，实现便捷操作
● 凭据以下个性装置了安全装置（先驱体资料压力、火焰、烟雾、温度等）
● 联锁以预防篡改
● 系统谬误和报警汗青纪录
● 支持与工艺设备的通讯（多种大局通讯模式）
● 凭据必要选取防爆设计
● 凭据必要建设CO2或其他灭火装置
系统认证
● CE 认证
● 切合SEMI S2 认证
PCDSTM LDS
全自动操作系统
不变工艺节造系统
全方位安全保险措施
切合防火要求的柜体表壳
PCDSTM LDS系列产品开发过程
BCDS
型号：A3D-35oS
介质：TMA
配置：300Kg*双瓶
利用：光伏电池TopCon
BCDS
型号：A3D-250C
介质：TEOS
配置：25OKG*双瓶
利用：表延
DLDS
型号：A1D
介质：TiCl/BDEAS/BTBAS/DIPAS
配置：19L*双瓶
利用：ALD/CVD薄膜
QLDS
型号：A1S
介质：HCDS/TMA/...
配置：4-19L*单瓶
利用： ALD/CVD薄膜
QLDS
型号：A2D-P
介质： TDMAT/TEMAZ/CpZr/CpHf/...
配置：4-19L*双瓶+溶剂洗濯
利用：ALD/CVD薄膜 ，Diffusion
超高纯液态先驱体资料输送设备-LDS
a. 2.5mm厚封关式全钢烤漆柜
● 大面积可视防爆玻璃
● Ø150mm不锈钢可调式排风
● 自关式安全门 ，可上锁治理 ；底部进风调节
b. 内置多点安全监控装置
● 内置多点安全监控装置
● 液体泄漏侦测器
c. 全容积防漏盘
d. 基于PLC节造的全自动节造箱
e. 紧凑型节造盘面 ，最多至4路工艺出口
f. 双瓶设计（源瓶+工艺缓冲瓶） ，可调式冈炜支架 ，兼容分歧规格
g. 高精度电子称 ，与罐液位计形成冗余设计
h. 最相宜占地尺寸（ W700mm x D1100mm x H2050mm)
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