实现高纯先驱体资料的批量出产
BDEAS
双（二乙氨基）硅烷
BTBAS
双（叔丁氨基）硅烷
DIPAS
二异丙氨基硅烷
DIS
二碘硅烷
TDMAHf
四（二甲胺基）铪
TEMAHf
四（甲乙胺基）铪
CpHf
三（二甲胺基）环戊二烯基铪
HfCl4
四氯化铪
TEMAZ
四（甲乙胺基）锆
CpZr
三（二甲胺基）环戊二烯基锆
ZrCl4
四氯化锆
Star-Ti
三甲氧基（五甲基环戊二烯基）钛
TMA
三甲基铝
La(FAMD)3
三（N,N'- 二异丙基甲脒基）镧
TBTDEN
叔丁亚胺基三（二乙胺基）铌
CpNb
（叔丁亚胺基）双（二甲胺基）环戊二烯基铌
WCl5
五氯化钨
MoCl5
五氯化钼
MoO2Cl2
二氧二氯钼
CpCo(CO)2
二羰基环戊二烯基钴
CCTBA
（3,3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴
Ru(EtCp)2
双（乙基环戊二烯基）钌
Ru-002
Ru-002
Ru-003
Ru-003
